陜西長嶺電子科技有限責任公司
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設備維修
     陜西長嶺電子科技有限責任公司計劃進行真空退火爐VTS-80維修,
     一、主要維修內容如下:
    1.爐膽更換(有效加熱區尺寸:600mm*400mm*400mm);
    2.羅茨泵聯軸器更換;
    3.高閥氣缸及缸桶密封圈更換;
    4.擴散泵維護清理。
    二、維修后應達到指標要求:
    6.1能達到的最高溫度:1300攝氏度
    6.2溫度均勻性:小于等于正負5攝氏度(空爐9點測溫,溫度測試點500攝氏度、850攝氏度、1050攝氏度)
    6.3空爐升溫時間:小于等于60min(RT~1200攝氏度)
    6.4極限真空度:2*10-3Pa
    6.5抽真空速率:小于等于45min(冷爐抽至2*10-3Pa)
    6.6壓升率:小于等于0.5Pa/h


                                                                       聯系人:鄭工
                                                                       聯系電話:0917-3608609

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